GMS氣體監(jiān)測(cè)監(jiān)控系統(tǒng)介紹
GMS的主要目的是通過(guò)對(duì)所有潛在的危險(xiǎn)氣體泄漏點(diǎn)的監(jiān)控，在保證人員安全的前提下，盡可能的保證生產(chǎn)連續(xù)并不受干擾的進(jìn)行。
GMS是氣體信息系統(tǒng)，主要負(fù)責(zé)收集氣體供應(yīng)設(shè)備氣體供應(yīng)狀態(tài)，如管路壓力、閥門狀態(tài)、報(bào)警和故障情況等，當(dāng)監(jiān)控區(qū)域出現(xiàn)氣體供應(yīng)設(shè)備異常時(shí),該系統(tǒng)能實(shí)時(shí)提供區(qū)域設(shè)備報(bào)警提示，讓現(xiàn)場(chǎng)操作人員最快時(shí)間發(fā)現(xiàn)問(wèn)題，同時(shí)還可實(shí)現(xiàn)定期自動(dòng)抄表功能。
系統(tǒng)需求
隨著科學(xué)技術(shù)及智能技術(shù)的發(fā)展,人們對(duì)半導(dǎo)體集成電路芯片需求越來(lái)越大.集成電路的生產(chǎn)加工由于工藝的需求,需要使用到一定量的特殊氣體,為保證生產(chǎn)線人員的安全及生產(chǎn)過(guò)程的穩(wěn)定可靠,半導(dǎo)體廠務(wù)運(yùn)營(yíng)中心需要對(duì)生產(chǎn)工藝中使用到的氣體是否泄漏進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控。
解決方案
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